光刻机把图案印上去,然后刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案(或者没有图案)的部分,留下剩余的部分。刻蚀相对光刻要容易。
如果把在硅晶体上的施工比成木匠活的话,光刻机的作用相当于木匠在木料上用墨斗划线,刻蚀机的作用相当于木匠在木料上用锯子、凿子、斧子、刨子等施工。蚀刻机和光刻机性质一样,但精度要求是天壤之别。
木匠做细活,一般精确到毫米就行。做芯片用的刻蚀机和光刻机,要精确到纳米。现在的手机芯片,如海思麒麟970,高通骁龙845都是台积电的10纳米技术。
东莞市华谊智能科技有限公司,坐落于珠三角东部经济走廊-虎门滨海湾新区,是一家研发、设计、生产、安装、调试及售后服务为一体的高端精密蚀刻机企业,公司主要经营:蚀刻机、五金蚀刻机、引线框架蚀刻机、补强片蚀刻机、金属腐蚀机、真空蚀刻机等设备。